
这章节开始将记述防静电对策的个别内容。
另外,下表为半导体取拿工程中静电对策的实施内容及必要项目。所以在实施时要与各事业部的静电对策担当者进行商谈检讨。再说,这里的所谓重点管亚美体育程是指对工程上有带电电位在50V以下的设计必要的场所进行估计并区分。◎必须实施○实施△根据需要实施
工厂环境
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静电对策用接地线的设置(NO.①-1)
目的:为了将已产生的静电导入接地
实施顺序
1)对直径为1.6mm 以上的导线,与设备用接地线分开单独铺设静电对策用接地线。
2)静电对策用接地线进行专门接地时,跟设备接地一样通过接地点接地。
要点
1)对于静电对策用接地线,如果有外伤保护和耐蚀性要求的话,使用绝缘皮导线。由于很难发现导线内部导线断裂,所以1年至少进行一次导通测试。
2)为了防止人体在设备漏电时触电并进行防静电对策,各接地点接地间 的阻值应按以下值设定。
※接地间阻值:7.5*10^5-1.0*10^9Ω(IEC 61340)
3)工厂外的接地以D接地工事为基本,在连接超过300V低电压电路时,进行C 种接地工事,(旧特别第3种:接地电阻10Ω以下)※
另外,对于接地电阻1年至少应确认一次。
4)由于铺设静电对策用接地线有一定的困难,如果不得已要利用设备接地线的话,静电手环和接地线阻值应保持在适当的范围内以确保人身安全。
2.运用加湿器控制工程内的温度(NO.①-2)
目的:为了避免因湿度上升绝缘体表面阻率下降造成静电的产生。
实施顺序
1)根据外面空气的流入风量及室内室外的绝对湿度,计算必要的加湿量(kg/h)。
2)充分考虑蒸气品质、设备能力、维修保养性等各方面因素,导入加湿器。
3)设置后在多个场所设置湿度监控器进行湿度管理。
要点
1)如果湿度在65%以上将会有明显的影响,可能增加作业者的不快感。比如说,湿度为60%温度为22℃时,不会感觉到不快,但到了28℃ 就会感到不快。关注与温度的关系,湿度保持在50~60%较好。
2)加湿时,注意金属与壁上的结露。另外,若将IC长时间置于高湿度的 环境中,有可能发生膨胀变形所以要特别留意。
3)还有,滴下浸透方式由于各不相同,各有各的特点。
作业环境——作业床对策(NO.②-1)
实施项目:防止作业床带电
目的:为了防止因作业带电
实施顺序
1)铺设表面阻率为10^4~10^9Ω/□的导电垫并连接接地接点。
2)另外再铺上不锈钢钢板,增加1MΩ的电阻连接。
要点<导电垫>(静电皮)
1)2层构造的导电垫(绿),应从内侧的黑面接地。
2)阻值高的虽较便宜,但存在衰减时间变长的缺点。
同样,单层构造的导电垫(黑)也较便宜,但随着面积的增大阻值也 相应变高,所以选定时应多加留意。
3)一旦导电垫表面变脏,表面阻率也变大,同时衰减时间变长,应使用 加入了界面活性剂的中性洗涤剂进行擦拭。
4)为了确认效果,要求根据「⑧-2接地间(泄露)阻值的测定方法」定期 检查接地间(泄露)阻值。
※规格:7.5*10^5~1.0*10^9Ω (IEC 61340)
5)导电垫的接地点应用螺丝等进行机械固定。 <不锈钢钢板>
1)不要忘记在接地线接续点之间放入1MΩ的电阻。
实施项目:搬运路径的接地处理(NO.②-3)
目的:为了防止运输基板时产生静电。
实施顺序
1)为确保搬运路径的畅通,在其范围内铺设不锈钢钢板。或是在范围内每隔1米铺设10厘米的不锈钢钢板。
2)另外在通道上再铺上导电垫。
要点
1)不锈钢钢板之间用接地线连接,使用包含1MΩ电阻的防静电用接地线。
2)对搬运用的台车应进行防静电对策。
作业台对策(NO.②-2)
实施项目:作业台前铺导电垫并接地
目的:为了将作业台上产生的静电适度地安全导入地下。
实施顺序
1)铺设表面阻率为10^4~10^9Ω/□的导电垫,并连接接地点。
2)导电垫接地点接续时,鉚钉等注意不要外突。
要点
1)橡胶垫为绝缘体,可以绝对地避免高电位的带电。
2)作业台表面铺设金属板可以避免部品带电时突然放电造成损伤。
3)导电垫的表面变脏阻率就变高,也容易带上电,所以应使用加入了界面 活性剂的中性洗剂进行擦拭。
4)作为效果确认,根据「⑧-2接地间(泄漏)阻值的测定方法」,定期检查确认 接地间(泄漏)阻值。
※规格:7.5*10^5~1.0*10^9Ω (IEC 61340)
作业椅对策(NO.②-3)
实施项目:作业椅防静电对策
目的:为了将椅子与作业服摩擦接触产生的静电导入地下。
实施顺序
1)使用防静电作业椅,如果轮子不能直接接地的话,就直接通过链子接地面的接地线。
2)对于没有进行静电对策的作业椅,应套上防静电的背套和座套并 与链子相连,链子的一端与地面相接。
3)地面应铺上导电垫或不锈钢钢板进行静电对策。
要点
1)由于链子会因表面腐蚀出现导通不安定,所以一个月应检查一次。
2)链子有可能浮起,所以作业前应进行检查。
导电垫或不锈钢钢需加入1MΩ的电阻接接地线链
〈参考:接地间阻值的确认〉
效果确认
1)导电轮和链子等接地的部分应接触金属板。
2)座垫和金属板上都应连接测定电极。
3)绝缘电阻针输出功率100V,30秒后才能
读取数值。
4)规格:7.5*10^5~1.0*10^9Ω以(上限值IEC 61340)进行判定。
※测定机器参照「⑧-2接地间电阻的测定方法」。
台车(周转车)对策(NO.②-4)
实施项目:运载半导体的台车应进行防静电对策
目的:为了防止台车移动中带电。
实施顺序
1)搭载面的表面应铺设表面阻率为10^4~10^9Ω/□的导电垫。
2)导电垫先与链子相连,再将链子的一端连接地面。
3)地面一定要铺设导电垫和不锈钢钢板进行对策。
要点
1)由于与金属板重叠容易导致导通的不稳定,所以导电垫的接续应用螺丝等进行机械性固定。
2)台车的链子不能生锈。
3)车轮如果具静电扩散性的话,从各段的导电垫到车轮需要接地,同时可以取消链子。
电子厂防静电措施实践篇(四)车间的个别静电对策之一到此为止,想了解更多知识的请关注我们的公众号:dgbabu
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