这章节开始将记述防静电对策的个别内容。
另外，下表为半导体取拿工程中静电对策的实施内容及必要项目。所以在实施时要与各事业部的静电对策担当者进行商谈检讨。再说，这里的所谓重点管亚美体育程是指对工程上有带电电位在５０Ｖ以下的设计必要的场所进行估计并区分。◎必须实施○实施△根据需要实施
工厂环境
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静电对策用接地线的设置（NO．①-1）
目的:为了将已产生的静电导入接地
实施顺序
1)对直径为1.6mm 以上的导线，与设备用接地线分开单独铺设静电对策用接地线。
2）静电对策用接地线进行专门接地时，跟设备接地一样通过接地点接地。
要点
1）对于静电对策用接地线，如果有外伤保护和耐蚀性要求的话，使用绝缘皮导线。由于很难发现导线内部导线断裂，所以1年至少进行一次导通测试。
2）为了防止人体在设备漏电时触电并进行防静电对策，各接地点接地间 的阻值应按以下值设定。
※接地间阻值：7.5*10^5-1.0*10^9Ω(IEC 61340)
3）工厂外的接地以D接地工事为基本，在连接超过３００Ｖ低电压电路时，进行C 种接地工事，（旧特别第3种：接地电阻１０Ω以下）※
另外，对于接地电阻1年至少应确认一次。
4)由于铺设静电对策用接地线有一定的困难，如果不得已要利用设备接地线的话，静电手环和接地线阻值应保持在适当的范围内以确保人身安全。
2.运用加湿器控制工程内的温度(NO．①-2)
目的：为了避免因湿度上升绝缘体表面阻率下降造成静电的产生。
实施顺序
1)根据外面空气的流入风量及室内室外的绝对湿度，计算必要的加湿量(kg/h)。
2）充分考虑蒸气品质、设备能力、维修保养性等各方面因素，导入加湿器。
3）设置后在多个场所设置湿度监控器进行湿度管理。
要点
1)如果湿度在65%以上将会有明显的影响，可能增加作业者的不快感。比如说，湿度为６０％温度为２２℃时，不会感觉到不快，但到了２８℃ 就会感到不快。关注与温度的关系，湿度保持在５０～６０％较好。
2)加湿时，注意金属与壁上的结露。另外，若将ＩＣ长时间置于高湿度的 环境中，有可能发生膨胀变形所以要特别留意。
3)还有，滴下浸透方式由于各不相同，各有各的特点。
作业环境——作业床对策（NO．②-1）
实施项目：防止作业床带电
目的：为了防止因作业带电
实施顺序
1)铺设表面阻率为１０^４～１０^９Ω／□的导电垫并连接接地接点。
2）另外再铺上不锈钢钢板，增加１ＭΩ的电阻连接。
要点＜导电垫＞（静电皮）
1)２层构造的导电垫(绿)，应从内侧的黑面接地。
2)阻值高的虽较便宜，但存在衰减时间变长的缺点。
同样，单层构造的导电垫（黑）也较便宜，但随着面积的增大阻值也 相应变高，所以选定时应多加留意。
3)一旦导电垫表面变脏，表面阻率也变大，同时衰减时间变长，应使用 加入了界面活性剂的中性洗涤剂进行擦拭。
4)为了确认效果，要求根据「⑧－２接地间(泄露)阻值的测定方法」定期 检查接地间(泄露)阻值。
※规格：７.５*１０^５～１.０*１０^９Ω (IEC 61340)
5)导电垫的接地点应用螺丝等进行机械固定。 ＜不锈钢钢板＞
1)不要忘记在接地线接续点之间放入１ＭΩ的电阻。
实施项目：搬运路径的接地处理（NO．②-3）
目的：为了防止运输基板时产生静电。
实施顺序
1)为确保搬运路径的畅通，在其范围内铺设不锈钢钢板。或是在范围内每隔1米铺设10厘米的不锈钢钢板。
2）另外在通道上再铺上导电垫。
要点
1）不锈钢钢板之间用接地线连接，使用包含１ＭΩ电阻的防静电用接地线。
2）对搬运用的台车应进行防静电对策。
作业台对策（NO．②-2）
实施项目：作业台前铺导电垫并接地
目的：为了将作业台上产生的静电适度地安全导入地下。
实施顺序
1)铺设表面阻率为１０^４～１０^９Ω／□的导电垫，并连接接地点。
2)导电垫接地点接续时，鉚钉等注意不要外突。
要点
1)橡胶垫为绝缘体，可以绝对地避免高电位的带电。
2)作业台表面铺设金属板可以避免部品带电时突然放电造成损伤。
3)导电垫的表面变脏阻率就变高，也容易带上电，所以应使用加入了界面 活性剂的中性洗剂进行擦拭。
4)作为效果确认，根据「⑧－２接地间(泄漏)阻值的测定方法」，定期检查确认 接地间(泄漏)阻值。
※规格：７.５*１０^５～１.０*１０^９Ω (IEC 61340)
作业椅对策（NO．②-3）
实施项目：作业椅防静电对策
目的：为了将椅子与作业服摩擦接触产生的静电导入地下。
实施顺序
1)使用防静电作业椅，如果轮子不能直接接地的话，就直接通过链子接地面的接地线。
2）对于没有进行静电对策的作业椅，应套上防静电的背套和座套并 与链子相连，链子的一端与地面相接。
3）地面应铺上导电垫或不锈钢钢板进行静电对策。
要点
1)由于链子会因表面腐蚀出现导通不安定，所以一个月应检查一次。
2）链子有可能浮起，所以作业前应进行检查。
导电垫或不锈钢钢需加入１ＭΩ的电阻接接地线链
〈参考：接地间阻值的确认〉
效果确认
1）导电轮和链子等接地的部分应接触金属板。
2）座垫和金属板上都应连接测定电极。
3）绝缘电阻针输出功率100V，30秒后才能
读取数值。
4)规格：７.５*１０^５～１.０*１０^９Ω以(上限值IEC 61340)进行判定。
※测定机器参照「⑧－２接地间电阻的测定方法」。
台车（周转车）对策（NO．②-4）
实施项目：运载半导体的台车应进行防静电对策
目的：为了防止台车移动中带电。
实施顺序
1)搭载面的表面应铺设表面阻率为１０^４～１０^９Ω／□的导电垫。
2)导电垫先与链子相连，再将链子的一端连接地面。
3)地面一定要铺设导电垫和不锈钢钢板进行对策。
要点
1)由于与金属板重叠容易导致导通的不稳定，所以导电垫的接续应用螺丝等进行机械性固定。
2)台车的链子不能生锈。
3)车轮如果具静电扩散性的话，从各段的导电垫到车轮需要接地，同时可以取消链子。
电子厂防静电措施实践篇（四）车间的个别静电对策之一到此为止，想了解更多知识的请关注我们的公众号：dgbabu
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